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"진공뷰포트 부품의 혁신"..티엔지, 오링형 일체형 뷰포트 개발

부제 : 경기대학교 창업지원단 '2021년 초기창업패키지' 졸업 기업 ㈜티엔지 김춘식 대표 "반도체·디스플레이 시장 성장에 발맞춰 핵심기술 집약된 일체형 뷰포트로 세계 뷰포트 시장 선점할 것"

20여 년 경력의 진공장비 설계자가 진공장비에 필수적인 일체형 타입의 뷰포트를 개발해 주목받고 있다.

반도체, LCD(액정화면), OLED(유기발광다이오드) 등은 증착(진공 상태에서 금속이나 화합물 따위를 가열·증발시켜 그 증기를 물체 표면에 얇은 막으로 입히는 일) 및 식각(회로를 제외한 웨이퍼의 불필요한 부분을 깎아내는 과정) 공정을 반드시 거친다.

이 과정에서 대기를 차단할 수 있는 진공챔버(반도체와 디스플레이 제조 공정에 사용되는 장비)가 사용된다.

이때 진공챔버 내부에서 이뤄지는 공정 상황을 파악할 수 있는 뷰포트 설치가 필수적이다.

뷰포트는 창틀 역할을 하는 하우징(housing)과 내부를 볼 수 있도록 제작된 투명한 윈도우(window)로 구성된다.

기존에는 설계자가 직접 하우징과 윈도우를 설계·제작한 뒤 이를 진공챔버에 설치하는 것이 일반적이었다. 설계가 필요없는 일체형 뷰포트도 시중에 출시됐지만 용접타입(하우징과 윈도우를 결합하는 방식)으로 고가 제품이 대부분이다.

이런 시장을 개선하고자 ㈜티엔지가 지난 2017년 오링(물 따위가 새는 것을 막는 데 쓰는 원형의 고리)을 사용한 일체용 뷰포트를 세계 최초로 개발했다.
㈜티엔지 김춘식 대표는 "진공장비 설계업체에서 근무하면서 쌓아온 기술력과 공정화 장비 개선에 대한 끊임없는 고민이 창업의 발판이 됐다"며 "지난 2017년 뷰포트 설계·제작 과정의 번거로움 해소는 물론 가격 경쟁력까지 갖춘 일체형 뷰포트를 개발했고, 이 창업 아이템으로 지난 2019년 창업에 도전했다"고 설명했다.

20여 년 진공장비 설계경력의 김 대표는 '오링타입'이라는 새로운 하우징-윈도우 결합 방식을 디자인했다. 고도의 기술력이 요구되는 용접타입 일체형 뷰포트와 비교했을 때 가격 경쟁력이 뛰어나다. 마그네트 가스 압축기, 오수 배관 막힘방지 시스템, 챔버타입의 원자층 고속증창 장치 등 핵심 기술에 대한 4건의 특허 등록까지 마쳤다.

ISO인증규격(국제표준화기구가 세계 공통으로 제정한 품질 및 환경시스템 규격)에 따른 원형 타입과 고객사 맞춤형 제작이 가능한 사각형 타입으로 구성됐다. 다양한 규격으로 고객사의 선택의 폭을 넓혔다.
티엔지는 이 제품을 반도체·디스플레이 장비 생산 세계 1위 기업 어플라이드 머티어리얼스(AMAT)에 납품하는 성과까지 거뒀다.

김 대표는 "수소경제를 대비해 미래 세대를 위한 기술 개발에도 집중하고 있다. 현재 화석연료를 대체할 수 있는 수소 경제를 달성하기 위한 핵심 기술인 고에너지 효율의 마그네트 수소 압축기를 개발 중"이라며 "㈜티엔지가 미래세대에게 꼭 필요한 기술을 개발하는 가치 있는 기업으로 성장할 수 있도록 매진하겠다"고 강조했다.

한편 티엔지 김춘식 대표는 경기대 창업지원단에서 운영하는 초기창업패키지를 통해 사무 공간, 홍보·마케팅 등을 지원받으며 초기 창업자가 겪는 애로사항을 해소하고 안정적인 사업을 펼치고 있다.
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